壓力傳感器是我們生活中使用的比較多的一種用于測(cè)量壓力的設(shè)備，該設(shè)備通常由壓力敏感元件和信號(hào)處理單元組成，并按照一定的規(guī)律可以將壓力信號(hào)傳輸出去，根據(jù)不同的測(cè)量情況，可以分為很多種類的壓力傳感器，其中微型壓力傳感器的應(yīng)用比較廣泛，因?yàn)樗捏w積小，可以進(jìn)入很多地方，那么大家知道微型壓力傳感器的原理是什么嗎?應(yīng)用在哪些地方?下面隨小編一起來(lái)了解一下吧!
 

　　工作原理：
 

　　目前的微型壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。

 

　　硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成電橋作為力電變換測(cè)量電路的，具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗和極低的成本。電橋的壓阻式傳感器，如無(wú)壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。
 

　　微型硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，采用微型技術(shù)直接將四個(gè)高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力大處，組成惠斯頓測(cè)量電橋，作為力電變換測(cè)量電路，將壓力這個(gè)物理量直接變換成電量，其測(cè)量精度能達(dá)0.01-0.03%FS。
 

　　電容式壓力傳感器利用微型技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即△壓力=△電容量。
 

　　應(yīng)用：
 

　　微型壓力傳感器可以用類似集成電路的設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝，進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過(guò)程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用壓力傳感器打開(kāi)方便之門，使壓力控制變得簡(jiǎn)單、易用和智能化。
 

　　傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬?gòu)椥泽w受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如壓力傳感器那樣，像集成電路那么微小，而且成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于壓力傳感器。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，壓力傳感器的尺寸更小，不超過(guò)一厘米，相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)，其性價(jià)比大幅度提高。